光切法顯微鏡以光切法測量零件加工外表的微觀不平度。其能判別國jia標準GB1031-68所規則▽3-▽9級外表光潔度（外表粗糙度）關于外表劃痕、刻線或某些缺點的深度也可用來進行測量。光切法特點是在不損壞外表的情況下進行的。是一種間接測量方法。即要經過核算后才能確認紋痕的不平度。

　　光切法顯微鏡的原理

　　光切法是利用光切原理來測量外表粗糙度的方法,它將一束平行光帶以必定視點投射與被測外表上,光帶與外表輪廓相交的曲線影像即反映了被測外表的微觀幾何形狀,處理了工件外表細小峰谷深度的測量問題,避免了與被測外表的觸摸。因為它采用了光切原理,所以可測外表的輪廓峰谷的大和小高度,要受物鏡的景深和鑒別率的限制。峰谷高度超出必定的范圍,就不能在目鏡視場中成明晰的實在圖像而導致無法測量或許測量誤差很大。但因為該方法成本低、易于作業，所以還在被廣泛應用。光切法屬于非觸摸性測量粗糙度。包括：光切法、實時全息法、散斑法、像散測定法、光外差干與法、A FM法、光學傳感器法等。

　　光切法顯微鏡的特點

　　1.儀器在原有的基礎上進行了光學系統升級，明場成像更明晰，避免看不清測量讀數刻線。

　　2.裝備粗微動同軸調焦系統，粗動松緊可調，微動格值:2μm，使之更加準確的找到成像面。

　　3.一體化結構機身，無需另配變壓電源，作業簡潔、便利。

　　4.非觸摸式測量，不會損壞樣品外表層，經過核算后確認紋痕的不平度。